蚀刻液第三方检测-蚀刻液组分分析
蚀刻液是 PCB、半导体与金属加工中用于选择性去除材料的化学溶液,其组分浓度决定蚀刻速率与精度。组分偏差会导致蚀刻不均匀、侧蚀或残留,影响线路精度。对蚀刻液开展组分与浓度分析,是槽液维护、工艺控制与废液处理的基础。
检测标准
| 序号 | 标准号 | 标准名称 |
|---|---|---|
| 1 | GB/T 9722-2006 | 化学试剂 气相色谱法通则 |
| 2 | GB/T 4472-2011 | 化工产品密度、相对密度的测定 |
| 3 | GB/T 6283-2008 | 化工产品中水分测定 卡尔·费休法 |
| 4 | GB/T 15337-2008 | 原子吸收光谱分析法通则 |
| 5 | GB/T 14666-2008 | 分析化学术语 |
检测范围
- 酸性蚀刻液与碱性蚀刻液:按体系分档。
- 铜蚀刻液与铝蚀刻液:按蚀刻对象。
- PCB 用与半导体用:按应用精度。
- 新配槽液与在线槽液:浓度跟踪。
- 废蚀刻液:回收与处理评价。
- 不同批次:组分一致性。
检测项目
- 主组分浓度:氯化铜、硫酸、碱等按体系。
- 金属离子含量:铜离子等。
- 蚀刻速率:标准试片蚀刻量。
- pH 与密度:槽液状态。
- 有机组分:添加剂与溶剂 GC 分析。
- 氯离子与杂质:干扰离子。
- 水分与固含量:组成配比。
